Page d'accueil

Capteur de position absolue haute résolution

Conception d'un capteur de position absolue haute résolution à l'aide d'un imageur et d'une série de codes gravés sur une règle en verre. Le but est d'atteindre une résolution de l'ordre de 4nm en utilisant simultanément deux pistes gravées. La première est une séquence de raies uniformément distribuées en vue d'une interpolation, la seconde est basée sur un code de Manchester donnant la position absolue. Dans le but de trouver un lien entre la résolution et le nombre de pixels de l'imageur par période de gravage, la règle en verre contient plusieurs couples de gravures, chacun de périodes différentes (5 nm, 10nm, 20nm, 50nm et 100nm).Un banc de test réalisé sous la forme d'une structure flex permet de réaliser des mouvements de faibles amplitudes. Une vis micrométrique différentielle équipée d'un stack piézoélectrique doit permettre le contrôle de déplacements de l'ordre du nanomètre (objectif : 4nm). La position absolue, résultat d'un traitement d'images, doit être comparée à celle obtenue par un codeur optique sin/cos couplé à un interpolateur. L'image fournie par l'imageur et la position du codeur de référence sont transmises à un PC via deux liaisons USB séparées.