Asservissement de position d'un micro-miroir MEMS 2 axes

Le projet consiste à implanter et dimensionner un asservissement de position des 2 axes de rotation d'un micro-miroir, les performances dynamiques demandées en boucle fermée étant de l'ordre de 500mus.

Chacun des axes présente 2 modes vibratoires dont l'un est très mal amorti et de surcroît situé dans la zone de la bande passante en boucle fermée. Ce problème ayant été résolu avec succès lors d'un travail de bachelor précédent avec un régulateur RST (S.Kasinathan, 2016), il s'est agit de se concentrer sur le couplage entre axes.

Via la mise en oeuvre d'un découplage classique, la solution finalement proposée consiste à utiliser 2 régulateurs RST et 2 découpleurs. Elle a été implantée sur un processeur de type DSP.

Les régulateurs RST ont en outre été dimensionnés afin que la poursuite d'une consigne sinusoïdale de fréquence 200Hz soit possible sans erreur en régime permanent. 

Etudiant: Hassan Musse

Année: 2018

Département: TIN

Filière: Génie électrique avec orientation en Electronique embarquée et mécatronique

Type de formation: Plein temps

Partenaire externe: Sercalo Microtechnology Ltd

Enseignant responsable: Michel Etique

Institut: iAi

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